歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測(cè)試領(lǐng)域的應(yīng)用

本文由廣州鼎悅電子分享歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測(cè)試領(lǐng)域的應(yīng)用，那么首先我們來(lái)了解下什么是晶圓測(cè)試？晶圓測(cè)試是對(duì)晶片上的每個(gè)晶粒進(jìn)行針測(cè)，在檢測(cè)頭裝上以金線制成細(xì)如毛發(fā)之探針，與晶粒上的接點(diǎn)接觸，測(cè)試其電氣特性，不合格的晶粒會(huì)被標(biāo)上記號(hào)，而后當(dāng)晶片依晶粒為單位切割成獨(dú)立的晶粒時(shí)，標(biāo)有記號(hào)的不合格晶粒會(huì)被洮汰，不再進(jìn)行下一個(gè)制程，以免徒增制造成本。

下面正式帶大家了解歐姆龍B5W-LB限定反射型傳感器在晶圓測(cè)試的應(yīng)用：

特點(diǎn)： 

1、全性卓越的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過(guò)FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。B5W-LB成功使用LED光源。確保操作人員安全。

2、亦可檢測(cè)玻璃晶圓

B5W-LB以反射光的位置來(lái)檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。

3、可檢測(cè)涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無(wú)法檢測(cè)。而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

4、0.5ms的高速反應(yīng)

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

5、基于歐姆龍軟技術(shù)的高精度位置檢測(cè)

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。B5W-LB的受光部使用2段受光元件，通過(guò)反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

6、安裝方式靈活

傳感器可以從正下方引出電纜，備有兩向螺釘安裝孔位，可根據(jù)實(shí)際情況靈活安裝。

7、內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度13mm×厚度8.4mm×進(jìn)深20mm，質(zhì)量約為1.6g的小巧、輕盈型。